Wagon型 ChemicAlyzerⅡ
KCI Series
配置
装置结构 | PC·分光部·Sampling部 | ||
装置大小 | W500 * D500 * H1,086 [mm] (※1) | ||
装置重量 | 约 80 kg | ||
安装环境 | 场所 | 室内环境、无震动无腐蚀的环境 | |
环境温度 | 20~30℃(无结露) | ||
电源 | 100V 500W |
特征
- 是可移动的Wagon型, 使用药液来用于装置间的Cross Check与性能确认等, 运用度较高
- 用1台可测量多种药液, 是管理FAB内所有药液浓度的必备品
- 内置Sample吸入用泵, 易于药液的Sampling
- 安有平板式PC, 操作简单并且可立即确认所测量数据, 可以连接外部的存储装置, 可简单运用所测量的数据
Line Up
INLINE型液体浓度计
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标准型 Pro-2 (KIS 系列)
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Pro-2+ (KIS-P 系列)
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高性能Type Ace-3 (KIS-A 系列)
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RD-20系列 (RD-10/20/30)
WAGON型液体浓度计
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ChemicAlyzerⅡ