TOFCO的UV 方式臭氧水分解装置使用大功率紫外灯立即分解流体中的溶存臭氧。
Inline结构和Compact的Size,
卓越的使用便利性,是半导体及FPD FAB内安装、
使用的最佳产品。ULV-Series用于半导体、FPD清洗工艺,
在众多终端客户和设备供应商拥有应用案例。