OC Series

OC Series臭氧水供应装置是半导体及显示器清洗工艺用装置,是确保
价格竞争力和优秀性能而开发的臭氧水供应装置

不同型号的性能表
Model STANDARD FLOW MODEL HIGH FLOW MODEL
OC-1C OC-3C OC-6C OC-9C OC-12C
臭氧水浓度 (ppm) 5~40ppm 5~60ppm 5~60ppm 5~40ppm 5~40ppm
臭氧水流量 (L/min) 5~20L/min 10~40L/min 15~60L/min 40~100L/min 60~140L/min
原料气体 高纯度氧气 (99.9%以上) 高纯度氧气 (99.9%以上)
接触液体材质 液体:PFA,PTFE,ECTFE 液体:PFA,PTFE,ECTFE
气体: SUS316L,Quartz,PFA,PTFE 气体: SUS316L,Quartz,PFA,PTFE
设备尺寸 (mm) 830(W) x 780(D) x 1875(H) 1145(W) x 1050(D) x 1975(H)
  • STANDARD FLOW MODEL
  • HIGH FLOW MODEL
关联设备