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SPARKLE
HJS的SPARKLE应用于半导体、FPD清洗工艺并提供二氧化碳水的装置。
将二氧化碳气体(CO2)溶于超纯水中,制得二氧化碳水。
SPARKLE在清洁过程中使用,
用于ESD(Electrostatic Discharge)效应和防止金属腐蚀。
SPARKLE用于半导体、FPD清洗工艺,
在众多终端客户和设备供应商拥有应用案例。
特征
- 去除半导体清洁工艺中产生的静电
- 使用MFC准确控制气体用量及维持稳定的电阻率
- 独立气体溶解系统,半永久性使用
- 不产生剩余CO2气体,减少CO2气体消耗量
- 流量计内置可确认及输出二氧化碳水流量
- 可选项增加Resistivity Control功能来对应流量变化
(适用于NECR 和 CABINET MODEL) - 可通过多种型号的提供来满足客户的需求
不同型号的性能表
| Items | SPARKLE | ||
| Equipment Type | Rack Type | ||
| Model | ECR-05X-12 NECR-05X-12-C |
ECR-40X-34 NECR-40X-34-C |
ECR-40X-01 NECR-40X-01-C |
| Flow rate | 1.8 ~ 5 L/min | 10 ~ 35 L/min | |
| DIW IN PORT | PILLAR SUPER 300 TYPE 1/2" | PILLAR SUPER 300 TYPE 3/4" | PILLAR SUPER 300 TYPE 1" |
| SUPPLY PORT | PILLAR SUPER 300 TYPE 1/2" | PILLAR SUPER 300 TYPE 3/4" | PILLAR SUPER 300 TYPE 1" |
| CO2 GAS IN | swagelok 1/4" | ||
| DRAIN | VAT Drain: 3/8" Pillar Super 300 | ||
| 电阻值范围 | 0.05 ~ 0.2 MΩ·cm | 0.05 ~ 0.5 MΩ·cm | |
| 电阻计安装位置 | 设备内部安装 | ||
| 稳定性(恒定流量) | Set Value ±10% | ||
| Water Temperature(℃) | 25 ± 5 ℃ | ||
| Water Pressure(MPa) | 0.2 ~ 0.4 | ||
| CO2 Gas Supply Pressure (MPa) | 0.3 ~ 0.5 (高于DIW压力) | ||
| CO2 Gas Filter | 3 nm(built in) | ||
| CO2气体溶解方法 | CO2气体直接注入+混合器溶解(半永久性) | ||
| 电阻率控制方法 | MFC:根据供应流量的CO2气体设置控制(几乎无波动) | ||
| Out put | 1. Analog Output : 电阻率、CO2气体的瞬时流速 / 2. Alarm Output: 电阻率、High/Low Alarm (Contact), Leak Sensor Alarm (Contact) | ||
| 内部 Leak Sensor | Installed (Alarm Output) | ||
| Weight | Approx. 13kg | ||
| Size (W x D x H)mm | ECR MODEL : 420W× 550D× 160H (mm) / NECR MODEL : 486W× 350D× 210H (mm) | ||
| Resistivty Control 功能 | 选择NECR MODEL | ||
| PORT 方向 | ※1 Option :可选择下端接口 | ||
| RACK 方向 | ※2 Option :可选择纵向型 | ||
※1 PORT 方向朝下的MODEL -BP Ex) ECR-40X-01-BP
※2 垂直型 RACK MODEL -VP Ex) ECR-40X-34-VP
→1” MODEL 并选择朝下的PORT时 Ex) ECR-40X-01-BP
不同型号的性能表
Pressure loss for DI CO2
Resistivity control performance according to flow rate fluctuation
(Resistivity Setting: 0.1MΩ)
Cabinet Type: ECC Series
包括 Supply Pump、Particle Filter、Resistivity Auto Control Unit等,User可按照想要的规格制作。
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Canbinet Dual Rack Type
- Resistivity Auto Control Unit
-
Cabinet Single Rack Type
- Resistivity Auto Control Unit ,
Supply Pump, Particle Filter
