탄산수 공급장치

    SPARKLE

    HJS 의 SPARKLE은 반도체 , FPD 세정 공정에 사용되는 탄산수를 제조,
    공급하는 시스템입니다. 탄산가스(CO2)를 초순수에 용해 시켜 탄산수를
    제조 합니다. SPARKLE은 ESD(Electrostatic Discharge) 효과 및 금속
    부식을 방지하기 위한 용도로 세정 공정에서 사용 됩니다.
    SPARKLE은 반도체 , FPD 세정 공정 용으로 다양한 고객사와
    세정 장비사의 다수의 납입 실적을 보유 하고 있습니다.

    특징

    • 반도체 세정 공정 중에 발생하는 정전기 제거
    • MFC 사용으로 정확한 가스 용량 제어 및 안정된 비저항 값 유지
    • 독자적인 가스 용해 시스템으로 반 영구적 사용
    • 잉여 CO2 가스를 발생 시키지 않아 CO2 가스 소모량 절감
    • 유량계 내장으로 탄산수 유량 확인 및 출력 가능
    • Resistivity Control 기능 탑재 가능하여 유량 변동에 대응 가능
      (NECR 및 CABINET MODEL 적용)
    • 다양한 MODEL로 고객 요청에 가장 적합한 장치 제안 가능
    견적문의
    모델별 성능표
    항목 SPARKLE
    장비 형태 Rack Type
    Model ECR-05X-12
    NECR-05X-12-C     		ECR-40X-34
    NECR-40X-34-C    		 ECR-40X-01
    NECR-40X-01-C
    처리 유량 1.8 ~ 5 L/min 10 ~ 35 L/min
    DIW IN PORT PILLAR SUPER 300 TYPE 1/2" PILLAR SUPER 300 TYPE 3/4" PILLAR SUPER 300 TYPE 1"
    SUPPLY PORT PILLAR SUPER 300 TYPE 1/2" PILLAR SUPER 300 TYPE 3/4" PILLAR SUPER 300 TYPE 1"
    CO2 가스 IN swagelok 1/4"
    DRAIN VAT Drain: 3/8" Pillar Super 300
    비저항값 범위 0.05 ~ 0.2 MΩ·cm 0.05 ~ 0.5 MΩ·cm
    비저항계 설치 위치 장비내부설치
    일정유량 시 안정성 설정 값 ± 10% 이내
    공급 수 온도(℃) 25 ± 5 ℃
    공급 수 압력(MPa) 0.2 ~ 0.4
    공급 CO2 가스 압력(MPa) 0.3 ~ 0.5(DIW 압력보다 높을 것)
    CO2 가스 필터 3 nm 내장
    CO2 가스 용해 방법 CO2 가스 직접 주입 + 믹서 용해 (반영구적)
    비저항 제어 방법 MFC: 공급유량에 따른 CO2 가스 설정 제어(유량 변화 없을 것)
    외부 출력 1. 아날로그 출력: 비저항값, CO2 가스 순시 유량 / 2. 알람 출력: 비저항값 High/Low 알람(접점), Leak Sensor 알람(접점)
    내부 Leak Sensor 설치(알람 출력)
    중량 Approx. 13kg
    장치 크기(W * D * H)mm ECR MODEL : 420W× 550D× 160H (mm) / NECR MODEL : 486W× 350D× 210H (mm)
    Resistivty Control 기능 NECR MODEL로 선택
    PORT 방향 ※ 1 Option: 하부 포트 선택 가능
    RACK 방향 ※ 2 Option: 세로형 선택 가능

    ※1 PORT 방향 하부 MODEL -BP Ex) ECR-40X-01-BP
    ※2 세로형 RACK MODEL -VP Ex) ECR-40X-34-VP

    → 1" MODEL 에 하부 포트 시 Ex) ECR-40X-01-BP

    모델별 성능표

    Pressure loss for DI CO2

    Resistivity control performance according to flow rate fluctuation
    (Resistivity Setting: 0.1MΩ)

    Cabinet Type: ECC Series

    Supply Pump , Particle Filter, Resistivity Auto Control Unit 등을 포함하여 User가 원하는 사양으로 제작 가능 합니다.

    • Canbinet Dual Rack Type

      - Resistivity Auto Control Unit

    • Cabinet Single Rack Type

      - Resistivity Auto Control Unit ,
      Supply Pump, Particle Filter