Model | STANDARD FLOW MODEL | HIGH FLOW MODEL | ||||
HO-11M | HO-33M | HO-64M | HO-9C | HO-12C | ||
오존수 농도 (ppm) | 5~50ppm | 5~60ppm | 5~60ppm | 5~40ppm | 5~40ppm | |
오존수 유량 (L/min) | 5~20L/min | 5~40L/min | 10~60L/min | 40~100L/min | 60~140L/min | |
원료 가스 | 고순도 산소 (99.9% 이상) | 고순도 산소 (99.9% 이상) | ||||
접액부 재질 | 액체 : PFA, PTFE, ECTFE | 액체 : PFA, PTFE, ECTFE | ||||
가스 : SUS 316L, Quartz, PFA, PTFE | 가스 : SUS 316L, PFA, PTFE | |||||
장비 외형 (mm) | 830(W) x 780(D) x 1875(H) | 1145(W) x 1050(D) x 1975(H) | 1200(W) x 1200(D) x 2000(H) | 1200(W) x 1500(D) x 2000(H) |