ACE 의 EPS-5000 Series는 세정장치의 배기 압력을 실시간으로
자동 조절하여 안정적인 Process 조건을 유지 시켜 주는 배기 압력
조절
장치 (Exhaust Auto Damper)로서 빠른 응답 속도와 뛰어난 압력 제어
능력을 제공하고 있습니다.
특징
설정압력을 100~500pa까지 Step 변동 시 제어특성
배기 원압 변동 시 제어특성
배기 유량 변동 시 제어특성