배기 압력 자동 조절 장치

EPS-SERIES

ACE 의 EPS-5000 Series는 세정장치의 배기 압력을 실시간으로
자동 조절하여 안정적인 Process 조건을 유지 시켜 주는 배기 압력 조절
장치 (Exhaust Auto Damper)로서 빠른 응답 속도와 뛰어난 압력 제어
능력을 제공하고 있습니다.

특징

  • 50A~200A 다양한 사이즈 대응 가능
  • 1차 배기 압력의 변동이 심해 배기 압력 조절이
    필요한 세정 장비에 최적
  • 타 방식보다 빠른 응답 속도와 뛰어난 압력 제어
  • COMPACT한 사이즈와 가벼운 무게로 설치가 용이 :
    장비 내에 설치 가능
  • 독자적인 연산 방식 채택으로 뛰어난 신뢰성 제공
  • 쉬운 OPERATION과 간편한 MAINTENANCE
제어특성그래프
  • 설정압력을 100~500pa까지 Step 변동 시 제어특성

  • 배기 원압 변동 시 제어특성

  • 배기 유량 변동 시 제어특성